[发明专利]磁调谐压电微机械超声换能器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211320396.9 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115646791A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 杨瑞;曾中明;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁调谐压电微机械超声换能器及其制作方法，所述磁调谐压电微机械超声换能器包括依次层叠设置的下电极、压电层以及上电极，其中，所述上电极和/或所述下电极为具有磁致伸缩效应的压磁层。本发明的磁调谐压电微机械超声换能器，其能够利用磁致伸缩效应来调谐PMUT的工作特性，并同时具备磁传感性能。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 压电 微机 超声 换能器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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