[发明专利]声波谐振器及其设计方法、制造方法有效
| 申请号： | 202211321864.4 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115395918B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 左成杰;杨凯;林福宏;陶浩然;方纪明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H3/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 郭梦雅 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声波谐振器，包括：衬底；压电层，压电层包括压电晶体，压电晶体的切向为110°Y切~130°Y切或者10°Z切~30°Z切，压电层适用于在横向电场的作用下激发出第三阶反对称模态的声波；金属电极层，包括由多个正负金属电极交替排布构成的金属电极阵列，金属电极阵列形成横向电场，通过旋转欧拉角将金属电极层形成在压电层上，使横向电场的方向与压电晶体在全局坐标系下的+X轴方向成‑30°~+30°，+X轴方向表示初始声波的传播方向；其中，压电层在横向电场的作用下激发出第三阶反对称模态的声波，使声波谐振器在谐振频率大于20GHz的超高频段实现大于7%的机电耦合系数。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 设计 方法 制造 | ||
【主权项】：
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