[发明专利]MEMS光纤氢气传感器及形成方法在审
| 申请号： | 202211327582.5 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115684088A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 龙亮;郭智慧;钟少龙;郭凉杰 | 申请（专利权）人： | 上海拜安传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N21/01;G01L1/24;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 201210 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS光纤氢气传感器及形成方法，包括：钯膜，用于吸收氢气；支撑薄膜，包括第一面和第二面以及侧面，钯膜位于支撑薄膜的第一面；形变梁，连接在支撑薄膜的侧面上，受力能产生形变；框架，第一端与形变梁连接；第一反射膜，位于支撑薄膜的第二面；支撑结构，框架的第二端设置在支撑结构的表面；第二反射膜，与第一反射膜相对并且对准第一反射膜，第一反射膜和第二反射膜之间形成FP腔体，并且之间的距离为FP腔体的腔长；检测光纤，用于向FP腔体发射激光，以及接收从FP腔体反射的激光，当接收到的激光的波长发生了变化，通过波长变化可以获得腔长的变化，从而获得钯膜吸收的氢气的量，从而获得环境中氢气的含量。 | ||
| 搜索关键词： | mems 光纤 氢气 传感器 形成 方法 | ||
【主权项】：
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