[发明专利]温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备在审
| 申请号： | 202211335236.1 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115657762A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 韦巍 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备，所述温度调节系统包括：空调装置，空调装置安装于机体上，空调装置包括壳体以及设置于壳体内的压缩机，壳体上具有出风口和回风口，空调装置用于驱动空气从出风口经曝光模块后移动至回风口，以调节曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集回风口的回风温度；加热装置，加热装置安装于空调装置内；控制装置，控制装置与空调装置、第一温度采集装置、加热装置连接，获取回风温度和压缩机的当前转速值，并根据回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态。采用该温度调节系统可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 系统 及其 控制 方法 直写式 曝光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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