[发明专利]化学气相沉积TiSiBN纳米复合涂层

摘要

一种化学气相沉积TiSiBN纳米复合涂层，包括基体和化学气相沉积(CVD)方法制备的涂层，涂层设置在基体的至少一部分外表面上，涂层包括至少一层在基体表面依次沉积的第一功能层Ti1‑xSixN(0.05≤x≤0.15)和第二功能层Ti1‑aSiaBbN1‑b(0.03≤a≤0.1,0.05≤b≤0.20)，且第一功能层和第二功能层之间形成共格生长界面，第二功能层具有非晶Si3N4和BN包覆TiN纳米晶结构，且TiN纳米晶尺寸为10‑20nm。本发明的纳米复合涂层具有高结合强度、高耐磨性、优异的高温抗氧化性和自润滑性。