[发明专利]一种螺旋结构的敏感单元及其在轴向力传感器中的应用在审
| 申请号： | 202211343574.X | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115839786A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王怡;贺磊;郑优生 | 申请（专利权）人： | 王怡 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/167 |
| 代理公司： | 江苏德耀知识产权代理有限公司 32583 | 代理人： | 李刚 |
| 地址： | 201907 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种螺旋结构的敏感单元及其在轴向力传感器中的应用，其中敏感单元的主体为经压实形成的类矩形结构，其中功能部分为具有变形能力的螺旋状主体结构；所述的螺旋状主体结构通过以下步骤制备：将类椭圆形晶片，以中心轴为旋转中心，剥离呈螺旋状的部分材料后形成的具有变形能力的螺旋状主体结构。本申请通过进行螺旋剥离，从而获得具有一定变形能力的螺旋结构的敏感单元，该种敏感单元通过压合后可以获得类矩形结构，此时该种类矩形结构的中心部分与四周部位之间的厚度差极小，且该种厚度差距随着螺旋切割的不断精细化，是无限逼近于矩形结构，从而可以较好的解决现有传感器灵敏度与一致性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋 结构 敏感 单元 及其 轴向 传感器 中的 应用 | ||
【主权项】：
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