[发明专利]基于脉冲序列的微纳加工系统及方法在审
| 申请号： | 202211346732.7 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115519239A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李义杰;曹佳炜;冯朝鹏 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/352 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种基于脉冲序列的微纳加工系统及方法,属于超快激光加工领域。该加工系统包括第一调制单元、第二调制单元及样品加工单元。第一调制单元用于调制单个超快激光脉冲的能量和偏振，得到调制脉冲。第二调制单元将调制脉冲进行调制得到一系列脉冲序列，第二调制单元包括分束器及若干反射镜，利用分束器分光产生的子脉冲在分束器及若干反射镜之间形成振荡光路，从而得到一系列脉冲序列。样品加工单元利用一系列脉冲序列对待加工样品进行加工，得到对应的三维微纳加工结构。因为第二调制单元通过将单个调制脉冲调制得到多个子脉冲序列，所以减少了热累积效应、提高了加工速度，同时光路结构简单、成本低，可实现偏振依赖性材料的可控加工。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 脉冲 序列 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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