[发明专利]一种气相沉积镀膜设备用中心支撑杆加工方法在审
| 申请号： | 202211347562.4 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115650772A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 刘炜 | 申请（专利权）人： | 上海拓赛半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/88 | 分类号： | C04B41/88;C23C16/458;C23C16/50;C09J131/04;C09J129/04;C09J11/04;C09J11/06 |
| 代理公司： | 宁德一知牛知识产权代理事务所(普通合伙) 35308 | 代理人： | 黄宏彪 |
| 地址： | 201500 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开的属于面板制造技术领域，具体为一种气相沉积镀膜设备用中心支撑杆加工方法，包括具体步骤如下：步骤一：将陶瓷材料制作成杆体，并通过打孔机在杆体的内壁形成定位孔；步骤二：将陶瓷材料制作成支撑帽，并通过焊接在支撑帽上安装定位杆；步骤三：将陶瓷材料制作成支撑板，本发明通过接触层与玻璃基板进行接触，由于接触层具有导热性和导电性，从而会避免对产品性能造成影响，与此同时，由于接触层具有低粘结力和耐温性，从而会减少接触层在与玻璃基板接触时出现杂质粒子的问题，避免对产品的品质造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 镀膜 备用 中心 撑杆 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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