[发明专利]一种采用飞秒激光在光纤上制备微结构阵列的装置及方法在审
| 申请号： | 202211348086.8 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115933324A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王义平;付彩玲;彭振威;廖常锐;何俊 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 温德昌 |
| 地址： | 518054 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用飞秒激光在光纤上制备微结构阵列的装置，包括放纤模块、夹持模块、三轴运动模块、飞秒激光模块、成像模块、收纤模块和控制模块，所述控制模块控制所述放纤模块、夹持模块、三轴运动模块、飞秒激光模块、成像模块和收纤模块；所述夹持模块、三轴运动模块、飞秒激光模块和成像模块位于所述放纤模块和收纤模块之间，所述夹持模块设置于所述三轴运动模块上，所述飞秒激光模块和成像模块位于所述三轴运动模块的上方。该装置可在光纤上连续制备光纤微结构，以形成微结构阵列。本发明公开了一种采用飞秒激光在光纤上制备微结构阵列的方法，可应用于上述装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 激光 光纤 制备 微结构 阵列 装置 方法 | ||
【主权项】：
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