[发明专利]一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法在审
| 申请号： | 202211361619.6 | 申请日： | 2022-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN115793402A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 黄喆;王辉;周尚营;王恒岩 | 申请（专利权）人： | 浙江科技学院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T9/00 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 万珠明;丁海华 |
| 地址： | 310012 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法，包括以下步骤：步骤1、根据光刻实验条件的最小曝光强度和可输出的最大曝光强度获取光刻实验条件m值；步骤2、根据m值对代表台阶深度的灰度图灰度值进行Golomb相除转码，得到第一段等长编码；步骤3、将m值和灰度图灰度值利用Golomb压缩编码规则计算，得到第二段等长编码；步骤4、将第一段编码和第二段编码进行拼接，得到Golomb编码；步骤5、把Golomb编码进行二进制横向切图，得到比特平面二值图；步骤6、对包含第一段编码的二值图用m倍曝光强度依次曝光，对包含第二段编码的二值图使用邻近二倍增大的曝光强度进行曝光。本发明可以减少曝光次数得到更多台阶数，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 改进 golomb 编码 算法 高效 台阶 光刻 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江科技学院，未经浙江科技学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211361619.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
