[发明专利]一种混合门极氮化镓功率器件在审
| 申请号： | 202211362249.8 | 申请日： | 2022-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN115642178A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 傅玥;孔令涛 | 申请（专利权）人： | 南京芯干线科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/47;H01L21/335 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江宁区菲尼*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种混合门极氮化镓功率器件，介质层中设有源极、漏极以及混合门极，混合门极包括P型氮化镓层和两个金属门极层，P型氮化镓层具有背离阻挡层的第一表面和朝向漏极的第二表面，两个门极金属层分别设于P型氮化镓层的第一表面侧和第二表面侧，P型氮化镓层与其第一表面侧的门极金属层组成增强型门极，P型氮化镓层第二表面侧的门极金属层为耗尽型门极。本发明创造性的将传统氮化镓器件里的增强或者耗尽型门极设计合并在一起，取长补短，即实现了传统增强型常关的特性，又利用了传统耗尽型对电场集中不敏感的优势。在不增加生产成本的情况下，巧妙的解决了传统增强型功率器件门极P‑GaN长期可靠性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 氮化 功率 器件 | ||
【主权项】：
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