[发明专利]一种阵列式FET加热的插指气敏传感器及其加工方法有效
| 申请号： | 202211369625.6 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115420777B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 任青颖;柳俊文;史晓晶;李卫;胡引引 | 申请（专利权）人： | 南京元感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210032 江苏省南京市江宁开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及气敏传感器技术领域，公开一种阵列式FET加热的插指气敏传感器及其加工方法，阵列式FET加热的插指气敏传感器包括：衬底，设有隔热腔室，隔热腔室内设有硅岛；绝缘层，位于衬底和硅岛的同一侧；FET加热阵列，包括若干个FET加热单元，每个FET加热单元均包括栅极和若干个间隔排布在硅岛内的掺杂极，掺杂极分为源极和漏极；若干个插指敏感电极，形成在绝缘层上；若干个气敏层，每个气敏层均覆盖在一个插指敏感电极上；多孔微组件，填充在隔热腔室内。本发明公开的阵列式FET加热的插指气敏传感器，具有加热均匀、出现裂纹的概率低及使用寿命长的优点，增设的多孔微组件提升了气敏传感器的结构强度，适用于恶劣环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 fet 加热 插指气敏 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京元感微电子有限公司，未经南京元感微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211369625.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：两片式夹持吹塑模具以及吹塑方法
- 下一篇：数据处理方法、装置及设备
