[发明专利]图像传感器在审

专利信息
申请号: 202211375166.2 申请日: 2022-11-04
公开(公告)号: CN116110916A 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 崔赫洵;安待健 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 程丹辰
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种图像传感器包括半导体基板,半导体基板包括第一表面和第二表面并具有设置在其中的光电转换区。浮置扩散区设置在半导体基板内。浮置扩散区与第一表面相邻。掩埋栅极结构设置在从半导体基板的第一表面朝半导体基板的内部延伸的掩埋栅极沟槽内,掩埋栅极结构包括在与浮置扩散区的第一侧部相邻的第一掩埋栅极沟槽内部的第一掩埋栅电极、以及在与第一掩埋栅极沟槽间隔开并与浮置扩散区的第二侧部相邻的第二掩埋栅极沟槽内部的第二掩埋栅电极,第二侧部与第一侧部相反。
搜索关键词: 图像传感器
【主权项】:
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