[发明专利]一种基于SOI的小量程高灵敏度压力传感器芯片及制备方法在审
| 申请号： | 202211384534.X | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN115824468A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 曾一笑;韩龙;邓惠文;王林;连树仁;马赛;罗庾宵 | 申请（专利权）人： | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 周芸婵 |
| 地址： | 610091*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SOI的小量程高灵敏度压力传感器芯片,通过理论仿真计算确定了传感器芯片的主要结构尺寸，并对传感器芯片的精度及抗过载能力进行了仿真优化，其在100kpa压力下具有高灵敏度、高精度、高抗过载能力、宽温区使用范围、抗恶略环境等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 soi 量程 灵敏度 压力传感器 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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