[发明专利]一种硅棒用高频线圈加热退火装置及其退火方法在审
| 申请号： | 202211388398.1 | 申请日： | 2022-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN115573040A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 九江市庐山新华电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南昌汇智合诚知识产权代理事务所(普通合伙) 36130 | 代理人： | 胡长民 |
| 地址： | 332000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及原生多晶退火技术领域，且公开了一种硅棒用高频线圈加热退火装置，包括安装基座，所述安装基座顶部的后方放置有高频感应电源，所述高频感应电源的正面设置有高频感应线圈，所述安装基座的顶部固定安装有防护套管，且防护套管的中部活动套装有硅棒，所述高频感应线圈套装于防护套管的外部，且高频感应线圈可对防护套管内部的硅棒进行高频加热。该硅棒用高频线圈加热退火装置及其退火方法，利用高频加热可对电导体加热的方式，设置位于高频感应线圈内部的防护套管，通过第一输送机构、第二输送机构带动硅棒在防护套管中移动，通过高频感应线圈对硅棒进行加热退火，消除硅棒中的应力，细化组织，改善切削加工性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅棒用 高频 线圈 加热 退火 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于九江市庐山新华电子有限公司，未经九江市庐山新华电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211388398.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有高密封性的温度传感器
- 下一篇：一种展品近距离观察用展柜
