[发明专利]对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202211397566.3 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115690064A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/62;G06V10/74 |
| 代理公司： | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人： | 杨彦鸿;张奎 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该对准方法，包括：采集待检测区域的扫描电子显微镜图像；提取扫描电子显微镜图像的扫描电子显微镜图像轮廓；将扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。根据本申请实施例，能够提高对准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 方法 装置 电子设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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