[发明专利]磁传感器及其制备方法，磁场测量系统有效
| 申请号： | 202211401786.9 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115453429B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;田兵;徐振恒;樊小鹏;刘仲;骆柏锋;王志明;李立浧;姚森敬;何毅;张伟勋;吕前程 | 申请（专利权）人： | 南方电网数字电网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01R33/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈金普 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁传感器及其制备方法，磁场测量系统，包括：介质层，具有相对设置的容置空间和凹槽；磁致层，设置在容置空间，磁致层在待测磁场中发生形变以产生应力，应力与待测磁场的场强呈正相关关系；悬臂梁，设置于凹槽所在侧的介质层的端面上，悬臂梁在凹槽位置形成悬浮部分，悬浮部分通过介质层受应力作用发生形变，形变的程度用于表征待测磁场的场强。本申请提供的磁传感器，将磁致层的应力变化转化为更为灵敏的悬臂梁上的变化。在待测磁场发生细微变化的情况下，通过电学测量或光学测量方式，能够精准地测量场强信息，更灵敏地感测待测磁场的变化情况，从而显著提升了磁传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制备 方法 磁场 测量 系统 | ||
【主权项】：
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