[发明专利]一种MOS的低剂量率增强效应仿真模型构建方法在审

专利信息
申请号: 202211410966.3 申请日: 2022-11-11
公开(公告)号: CN115659697A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 李兴冀;崔秀海;关恩浩;吕钢 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06F17/11
代理公司: 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 代理人: 鲍丽伟
地址: 150000 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明提供了一种MOS的低剂量率增强效应仿真模型构建方法,涉及元器件辐射模拟方法技术领域,包括如下步骤:步骤S1:构建MOS结构模型,MOS结构模型包括金属栅极、SiO2氧化层和Si衬底,在MOS结构模型中构建缺陷,并设置初始缺陷浓度,得到MOS结构缺陷模型;步骤S2:将相同的MOS结构缺陷模型在不同的低剂量率下辐照,模拟高能光子与SiO2氧化层的作用过程并计算,得到辐照后MOS结构缺陷模型的氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷,以对低剂量率增强效应进行仿真。本发明将MOS结构缺陷模型在不同的低剂量率下辐照,实现对低剂量率增强效应的仿真。
搜索关键词: 一种 mos 剂量率 增强 效应 仿真 模型 构建 方法
【主权项】:
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