[发明专利]一种基于激光干涉仪测量的多轴机床几何误差辨识方法

摘要

本发明公开了一种基于激光干涉仪测量的多轴机床几何误差辨识方法，包括以下步骤：根据机床结构规划激光干涉仪测量空间；分别在测量空间内的x,y,z三个移动方向上各选择三条移动轨迹，分别测量这九条移动轨迹上特定点的定位误差和两个直线度误差；对测量数据进行预处理；根据坐标变换原理构建几何误差辨识矩阵，并依据预处理后的测量数据进行机床几何误差辨识。本发明通过对直线度误差进行预处理，降低因测量坐标系与机床坐标系不一致而导致的测量误差，提高辨识精度；通过改进选取的测量项，增加方程组的限制条件，克服了误差传递现象，提高辨识结果的可靠性和稳定性。