[发明专利]一种直接式X射线探测器及其制备方法在审
申请号: | 202211419584.7 | 申请日: | 2022-11-14 |
公开(公告)号: | CN115768152A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 焦博;李淏淼;吴朝新 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H10K39/36 | 分类号: | H10K39/36;H10K85/50;H10K30/60;H10K71/12 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710048 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种直接式X射线探测器及其制备方法,包括基底、底电极、无机介电纳米颗粒层、钙钛矿X射线吸收层以及顶电极。基底设置在底电极的下表面;底电极的上表面设置无机介电纳米颗粒层;无机介电纳米颗粒层的上表面设置钙钛矿X射线吸收层;钙钛矿X射线吸收层上表面设置所述顶电极,无机介电纳米颗粒层采用低温溶液法制备;钙钛矿X射线吸收层采用喷涂方法制备。本发明具有制备工艺温度低、便于与驱动电路集成、易于实现大面积器件制备的特点,能够实现X射线平板探测器的批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 直接 射线 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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