[发明专利]基于激光诱导击穿光谱技术的材料平面度表征方法及系统在审
| 申请号： | 202211441836.6 | 申请日： | 2022-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN115752301A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 钱东斌;刘学启;龚书航;李亚举;李小龙;陈良文;马新文;杨磊;张少锋 | 申请（专利权）人： | 先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/71 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 魏桂龙 |
| 地址： | 516025 广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料平面度检测技术领域，尤其涉及一种基于激光诱导击穿光谱技术的材料平面度表征方法及系统。所述方法包括：S1、标准测试：对定标样本进行激光辐照采样操作，逐步定量调整距离，得到不同距离下的检测数据；S2、定标曲线确定：选取比对特征参数，提取数据值，制得定标曲线；S3、平面度测试：对待检测材料进行激光辐照采样操作，将各个测试区域的比对特征参数与定标曲线进行比对，定量出待检测材料局部平面度信息。本发明能在无接触的情况下定量出待检测材料局部平面度的信息，测试效率高，对操作人员的技术水平要求低，且局限性小，具备对材料平面度进行原位、快速的定量表征功能。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 诱导 击穿 光谱 技术 材料 平面 表征 方法 系统 | ||
【主权项】：
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