[发明专利]一种机械式热开关及探针台在审
申请号: | 202211442408.5 | 申请日: | 2022-11-18 |
公开(公告)号: | CN115728339A | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 蔡旭东;曹志强;张学莹;王麟 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学杭州创新研究院;致真精密仪器(杭州)有限公司 |
主分类号: | G01N25/00 | 分类号: | G01N25/00;G01R1/067;G01R31/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种机械式热开关,包括初级导冷连接部、第一次级导冷连接部、第二次级导冷连接部、导冷切换部、控制部,所述第一次级导冷连接部、第二次级导冷连接部间隔设置,所述初级导冷连接部与所述导冷切换部导冷连接,所述控制部被构造成能够带动所述导冷切换部移动的形式,所述控制部控制所述导冷切换部切换导冷路径。本发明还提供了一种使用机械式热开关的探针台。 | ||
搜索关键词: | 一种 机械式 开关 探针 | ||
【主权项】:
暂无信息
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