[发明专利]一种硅片插片机的连续供料装置及连续供料方法

摘要

本发明涉及一种硅片插片机的连续供料装置及连续供料方法，该方法使用硅片插片机连续供料装置，硅片插片机连续供料装置包括吊装机构，吊装机构下方依次设有承载器和送料机构，吊装机构包括横梁，吊装横梁的两端顶部分别设置有吊装水平滑轨，吊装水平滑轨上可滑动地设置有卡爪横移滑板，卡爪横移滑板的一侧水平设置有吊装齿条，吊装横梁上安装卡爪横移电机安装架，卡爪横移电机安装架上设置有卡爪横移电机，卡爪横移电机的工作轴上安装有卡爪横移齿轮，卡爪横移齿轮与吊装齿条啮合。本发明通过吊装机构、硅片承载器和送料机构三部件的有效联动实现硅片从硅片承载器中脱离、硅片分段输送、硅片插片机的不间断工作，实现可连续为硅片插片机供料之目的。