[发明专利]一种大角度MEMS双轴微镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211455439.4 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115728934A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 许静;孙其梁;吴家文;程进;徐乃涛 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B5/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 崔婕 |
| 地址： | 213400 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大角度MEMS双轴微镜，包括键合的第一SOI片和第二SOI片，所述第二SOI片上设置有镜片，所述第二SOI片下方设置有第一梳齿组，所述镜片两侧设置有第二梳齿组。与现有技术不同的是，本方案仅需要两片SOI片的键合即可制备，其质量可以得到保证，同时其成本得到了有效控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 mems 双轴微镜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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