[发明专利]一种适用超导串联约瑟夫森双晶结的嵌入蜿蜒线的蝶形天线

摘要

本发明公开一种适用超导串联约瑟夫森双晶结的嵌入蜿蜒线的蝶形天线，包括多个低阻抗混频器，多个低阻抗混频器之间连接有蜿蜒线金属层；左右两侧边缘的蜿蜒线金属层连接有弯折线金属层；所述弯折线金属层一侧连接有蝶形金属层；所述低阻抗混频器位于同一竖直线上，该竖直线所构成的晶界线在超导薄膜处形成为约瑟夫森结；该晶界线与左右两个蝶形金属层所形成的平行线垂直。本发明能够完成单一天线与各个串联结间的低阻抗匹配外，还避免天线主体分布在具有超导材料的双晶晶界上以免造成晶界处对串联的约瑟夫森结混频器的影响，减少制备过程中多次光刻显影时水对YBCO薄膜的损伤。