[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底、制备方法和LED外延片在审
| 申请号： | 202211462501.2 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN116093211A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 王子荣;康凯;陆前军;向炯 | 申请（专利权）人： | 广东中图半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底、制备方法和LED外延片。该图形化蓝宝石衬底的制备方法包括：在蓝宝石基晶片表面进行光刻胶掩膜制备；通过第一等离子源对所述蓝宝石基晶片进行刻蚀以形成第一图形化区域，并在刻蚀过程中生成刻蚀产物，以及同时通过第二等离子源与所述刻蚀产物反应生成二次掩膜，以使所述二次掩膜沉积在被刻蚀表面，其中，所述第一图形化区域侧面的沉积效果大于底部沉积效果，刻蚀效果大于所述二次掩膜沉积效果；通过第一等离子体源对所述第一图形化区域进行图形修饰刻蚀，以得到蓝宝石基三维图形。通过采用上述方案，解决了现有的图形化蓝宝石衬底的制备方法存在横向刻蚀控制能力不足、整体刻蚀时间过长的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 制备 方法 led 外延 | ||
【主权项】：
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