[发明专利]基于LNOI平台的集成光纤陀螺仪在审
| 申请号： | 202211465620.3 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115752420A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 黄海阳;袁斌;向祖强 | 申请（专利权）人： | 深圳市天陆海导航设备技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72;C30B29/30;C30B33/08;C30B33/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于LNOI平台的集成光纤陀螺仪，属于光纤陀螺仪技术领域，包括光路部分和电路部分；光路部分包括集成光路和光纤线圈，集成光路基于LNOI平台并且结合对铌酸锂单晶薄膜材料刻蚀形成的铌酸锂波导，实现对光源、耦合器、相位调制器及探测器的集成和封装；光源是基于量子阱的SLD光源，耦合器采用Y分支波导，相位调制器是铌酸锂Y波导相位调制器，探测器采用InGaAs光电探测器；SLD光源和InGaAs光电探测器都键合在LNOI平台上；集成光路引入和导出电连接引线后，采用引线键合工艺完成封装；铌酸锂Y波导相位调制器通过尾纤与光纤线圈熔接。本发明基于LNOI平台的集成光纤陀螺仪具有小型化、轻量化、高可靠性和易于批量生产的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 lnoi 平台 集成 光纤 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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