[发明专利]一种掺杂钨的柔性热电发生器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202211466024.7 申请日: 2022-11-22
公开(公告)号: CN115768231A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 张纪才;张玉林;刘婷;鲁勇;徐福建 申请(专利权)人: 北京化工大学
主分类号: H10N10/01 分类号: H10N10/01;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/20;C23C14/06;H10N10/852
代理公司: 重庆信航知识产权代理有限公司 50218 代理人: 孙章虎
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种掺杂钨的柔性热电发生器的制备方法,1)制备金属掩模板a和金属掩模板b;2)使用磁控溅射法,Ar气氛下,将钨与Bi0.5Sb1.5Te3同时沉积在聚酰亚胺衬底上,钨靶连接射频电源,功率为10W,Bi0.5Sb1.5Te3靶连接直流电源,功率为32W,磁控溅射装置的腔体压强低于5×10‑4Pa,掺杂温度为250℃;3)将步骤2)中得到的薄膜作为新衬底,使用磁控溅射方法,在室温的Ar气氛下,将Au沉积在金属掩模板b覆盖的新衬底上,将Au靶连接到直流电源,得到掺杂钨的柔性热电发生器。
搜索关键词: 一种 掺杂 柔性 热电 发生器 制备 方法
【主权项】:
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