[发明专利]面向高真空环境薄膜生长的原位在线光谱测量系统及方法在审
| 申请号： | 202211473799.7 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115753645A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 沈万福;李彬;胡春光;王海乐;于宇 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/01 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向高真空环境薄膜生长的原位在线光谱测量系统，包括底板(15)、真空腔(4)，用于放置测量样品的样品台(5)，置于真空腔(4)内的样品台(5)，光路结构和光路结构遮光罩(13)，位移台模块(14)置于底板(15)上，光路结构遮光罩(13)置于位移台模块(14)上，光路结构包括宽光谱光源(1)、第一离轴抛物镜(2)、可调整的光强衰减片(3)、分束片(7)、第二离轴抛物镜(8)和探测器模块(9)，通过对光强衰减片(3)的调节，使得到达光电探测器的光强强度在光电探测器的饱和阈值的1/2至2/3之间。本发明同时提供上述测量系统的原位在线测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 真空 环境 薄膜 生长 原位 在线 光谱 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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