[发明专利]真空质子辐照试验的高均匀性大束斑面离子源装置在审

专利信息
申请号: 202211480562.1 申请日: 2022-11-24
公开(公告)号: CN115831693A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 李昊;郑慧奇;黄首清;刘宇明;任琼英;杨勇;唐振宇;于强;刘宠;李宇;张永泰;彭毓川;杨艳斌;刘庆海;葛丽丽 申请(专利权)人: 北京卫星环境工程研究所
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08;G21K5/04
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 100094 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了真空质子辐照试验的高均匀性大束斑面离子源装置,包括气源,所述气源的输出端连接有电离室,所述电离室连接有引出面,所述引出面连接有加速电极,所述加速电极连接有靶台,所述靶台连接有计算机,所述计算机连接有高压电源,所述高压电源连接有电子源,所述高压电源还与电离室、引出面、加速电极连接。本发明中,使用多圈多圆弧形热阴极,各个圆弧的温度可分别控制,具有与热阴极交错布置的多层同心圆筒形电极,将引出电极延伸至电离室内部,因而离子束流的均匀性更好;热阴极的圈数、圆筒形电极的层数以及引出电极的面积等可增减,可实现大束斑面积的离子束流,具有离子通量自动调节功能,因而靶台位置的束流通量稳定性更好。
搜索关键词: 真空 质子 辐照 试验 均匀 性大束斑面 离子源 装置
【主权项】:
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