[发明专利]一种基于共焦光路像素差分的焦面检测方法及装置在审
| 申请号： | 202211480569.3 | 申请日： | 2022-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN115826214A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;彭伏平;丁晨良;孙琦;樊吴申;温积森 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测方法，该方法基于分别放置在共焦差分光路中的焦前和焦后位置上的两路图像传感器，通过将两路图像传感器获取的离焦光斑形状进行差分，结合后期图像处理，实现了焦面的实时探测跟踪与补偿。还公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测装置，包括位于光学系统中心光轴上依次排布的光源、滤波准直装置、二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片、物镜、样品，以及与偏振分光棱镜共轴依次布置的会聚透镜、分光棱镜和两路图像传感器。本发明与现有的其他焦面检测方法相比，具有装置简单，抗干扰能力强的优点，能实现高精度焦面跟踪定位与补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 共焦光路 像素 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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