[发明专利]一种提升硅片少子寿命精度的钝化方法以及钝化设备

摘要

本发明涉及一种提升硅片少子寿命精度的钝化方法以及钝化设备，包括以下具体步骤：步骤一：将待测硅片放入HF和HNO3的混合溶液中，去除表面的杂质和氧化层；步骤二：每次做硅片热氧化前，需打开炉门，打开N2进气开关吹扫炉腔，确保炉腔无细微颗粒存在；步骤三：关闭炉门，关闭N2进气开关，打开加温开关，以100℃/h的加温速率从室温加热到600‑700℃，炉腔温度达到设定温度后，稳定10‑15min；步骤四：将镜面抛光后的硅片装入片架，打开炉门推入炉腔，关闭炉门；步骤五：高温处理达到规定时间后，打开炉门取出样片采用冷却装置快速冷却到室温，对样片进行少子寿命测试。本发明具有操作简便、成本低、效率高等特点。