[发明专利]组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211486495.4 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN115988947A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 任传来;钟高阔;曾令平;陈骞鑫;安峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H10N30/081 | 分类号： | H10N30/081;H10N30/853 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胥巧莉 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜及其制备方法，所述组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同含量的锆酸铅和钛酸铅，得到组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜。本申请解决了现有技术测试锆钛酸铅薄膜组分与性能之间的关系的准确性较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 组分 梯度 变化 锆钛酸铅 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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