[发明专利]石英玻璃随机微透镜阵列匀光元件及其制备方法在审
申请号: | 202211488202.6 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN115826108A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 刘华;张晗;宋慧颖;李峰 | 申请(专利权)人: | 东北师范大学 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00;G02B27/00;G03F7/20 |
代理公司: | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人: | 李晓莉 |
地址: | 130024 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 石英玻璃随机微透镜阵列匀光元件及其制备方法,属于光学器件技术领域,包括以下步骤:步骤1、使用化学刻蚀法在超白玻璃上制备匀光元件模板;步骤2、使用PDMS和“液体玻璃”对步骤1中所述的超白玻璃模板软复制并固化;步骤3、对步骤2中制备的物体进行热处理,以得到石英玻璃匀光元件;本发明通过软复制协同热处理液体玻璃的方法制备了石英玻璃匀光元件,该方法避免了强酸强碱进行化学刻蚀的危险性,其工艺简单,降低了器件的制备成本,制备的石英玻璃器件具有高物化稳定性,高耐磨耐候性、高耐热,耐腐蚀性等特点。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 随机 透镜 阵列 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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