[发明专利]一种紫外光学元件激光损伤过程中材料喷溅角度的预测方法在审
| 申请号： | 202211505077.5 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN115854924A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 程健;杨丁槐;陈明君;赵林杰;刘赫男;王景贺;刘志超;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 黑龙江立超同创知识产权代理有限责任公司 23217 | 代理人： | 杨立超 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供一种紫外光学元件激光损伤过程中材料喷溅角度的预测方法，属于工程光学技术领域。为解决现有技术采用实验方式对紫外光学元件激光损伤过程中材料喷溅角度进行预测，由于检测装置性能的限制无法精确获得损伤初期等离子体喷溅行为；且对于特定表面微纳缺陷无法重复进行损伤性实验，无法有效预测其激光损伤过程中材料喷溅角度的问题。通过对激光损伤过程中材料喷溅的形成机理进行分析，采用等密度的离子点群模拟紫外光学元件加工表面微纳缺陷区，基于麦克斯韦、牛顿‑洛伦兹物理方程研究高功率激光辐照下缺陷区等离子体演变过程并获得激光损伤过程中材料喷溅角度。通过本发明方法可准确获得紫外光学元件激光损伤过程中材料喷溅角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光学 元件 激光 损伤 过程 材料 喷溅 角度 预测 方法 | ||
【主权项】：
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