[发明专利]一种机器学习识别纳米器件中多晶薄膜的晶相分布的方法在审
| 申请号： | 202211508296.9 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN115731207A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 郑勇辉;成岩;郑赟喆;许亦琳;辛天骄 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/60;G06N3/0464;G06N3/084 |
| 代理公司： | 北京恒创益佳知识产权代理事务所(普通合伙) 11556 | 代理人： | 付金豹 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机器学习识别纳米器件中多晶薄膜的晶相分布的方法。通过自动调整透射电镜模拟软件的模拟参数，得到一系列纳米多晶功能薄膜的模拟透射电镜图片作为数据库文件。针对多晶功能薄膜的晶体结构、倾转方向、样品厚度等晶体学参数分别构建深度学习卷积神经，以模拟透射电镜图片数据库训练构建的神经网络，当神经网络训练完成后对实际多晶功能薄膜中不同位置晶粒的透射电镜照片进行晶相分布识别。本发明可以替代人工方法，实现对多晶功能薄膜内部纳米晶的晶相自动、快速且可靠的识别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机器 学习 识别 纳米 器件 多晶 薄膜 分布 方法 | ||
【主权项】：
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