[发明专利]一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法在审
| 申请号： | 202211508935.1 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN115717881A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 胡烺;贺贤汉;叶国卿;冯博;黄家剑 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 孟咪 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法。表面形貌测量方法，其包括：步骤1：在工件所需测量平面上选取若干特定直线路径作为测量路径，测量每个直线路径的平坦度曲线数据；步骤2：从所述若干测量路径的平坦度曲线数据中筛选出有效数据；步骤3：对所述有效数据依次进行以下处理：发现并填充离群值，删除缺失数据，从数据中去趋势，对含噪声的数据进行平滑处理，以及对数据进行填充与比例缩放；步骤4：在所述若干测量路径间，沿所述若干特定路径进行曲面插值拟合；步骤5：在三维直角坐标系中按照实际位置绘制全平面表面形貌。本发明提供了一种高精度模拟大平面表面形貌的测量方法，从而得到整个平面精度较高的表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 工件 表面 形貌 测量 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汉虹精密机械有限公司，未经上海汉虹精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211508935.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
