[发明专利]一种基于神经网络的晶圆测试检测方法在审
| 申请号： | 202211513044.5 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115711900A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 苏广峰;杨伟清 | 申请（专利权）人： | 安测半导体技术（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G06T7/00;G06N3/02 |
| 代理公司： | 北京文苑专利代理有限公司 11516 | 代理人： | 于利晓 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基于神经网络的晶圆测试检测方法，涉及晶圆检测领域，包括如下步骤：对标准晶圆进行分层扫描，获得扫描标准图像并发送给计算机进行处理，获矩阵化组合化标准图像；对待测晶圆进行分层扫描，获得扫描待测图像并处理获得矩阵化组合化待测图像；用矩阵化组合化标准图像作为检测依据对矩阵化组合化待测图像进行检测，获得检测矩阵化组合化图像；对检测矩阵化组合化图像进行去矩阵化，获得检测组合化图像；对检测组合化图像进行差异筛选，获得差异筛选组合化图像；对差异筛选组合化图像进行去组合化，获得差异筛选图像；对差异筛选图像进行重组，获得重组图像并发送给绘图仪和显示器。本申请方法能够提高检测效率以及检测结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 神经网络 测试 检测 方法 | ||
【主权项】：
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