[发明专利]一种防水、防油的集成热式气体流量传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211514113.4 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115790752A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘舟锐;张楠;周晓峰 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F15/14 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防水、防油的集成热式流量传感器及其制备方法，所述的集成热式流量传感器包括：一载板；置于所述载板表面的集成热式流量传感芯片，其中热式流量传感芯片包括CMOS电路处理元件以及MEMS流量传感元件；置于所述载板表面，且覆盖所述集成热式流量传感芯片的管壳，管壳双侧开口，开口处设有防水防油的透气膜，用以保护传感芯片内部元件。当有气体流过传感器表面，经由MEMS流量传感元件感知，CMOS电路处理元件向外输出电信号，通过电信号反应气体流量变化，实现对气体流量的精准检测；本发明的集成热式流量传感器相比于现有的流量传感器结构扁平，体积小，有效降低设计制备成本、提高传感器使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防水 集成 气体 流量传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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