[发明专利]基于热成像的异质结热物理性质测量方法和装置在审
| 申请号： | 202211518165.9 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN116242876A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 曹炳阳;刘智珂 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 贺爱琳 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区双清路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于热成像的异质结热物理性质测量方法和装置，包括：基于有限元仿真计算，根据第一测试时长内的第Ⅰ变化离散点得到待测异质结样本的基底的热导率；基于有限元仿真计算，根据第二测试时长内的第Ⅰ变化离散点和基底的热导率得到基底的比热；基于有限元仿真计算，根据第三测试时长内的第Ⅱ变化离散点和基底的热导率、比热得到待测异质结样本的界面热阻和薄膜的比热；基于有限元仿真计算，根据第四测试时长内的第Ⅲ变化离散点与界面热阻、薄膜的比热和基底的热导率、比热，得到薄膜的热导率。本发明实现了多个参数的同时测量，提高了测量效率，且利用有限元仿真计算，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 成像 异质结热 物理性质 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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