[发明专利]一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法在审
| 申请号： | 202211524269.0 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115931106A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 高然;忻向军;吴哲宇;张晗 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学长三角研究院（嘉兴）;北京理工大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种倾斜空芯光纤声探测装置及方法，属于光纤传感领域。倾斜空芯光纤声探测装置包括依次连接的振动膜、空芯光纤和双芯光纤。本发明采用振动膜作为光纤声波传感器的传感元件，提升强度型光纤声波传感器的灵敏度。本发明利用双芯光子晶体光纤分别作为出射纤芯和接收纤芯，简化光束传输光纤的复杂性；此外，采用纯硅芯多模光纤作为空腔的制备元件，使光子晶体光纤可与空腔在无任何连接器件的情况下无缝熔接；同时，采用气相沉积法直接进行镀膜的方法制备金属振动膜，增加传感器的统一性；本发明采用背向湿法腐蚀加工技术，利用TMAH溶液对于纯硅、石英以及金属锗的选择性腐蚀从光纤背向形成金属振动膜，实现金属材料悬空镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 光纤 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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