[发明专利]一种洁净高真空工艺氢同位素的纯化器在审
| 申请号： | 202211524929.5 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN115970488A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 卢少波;张吉峰;唐榕 | 申请（专利权）人： | 北京真空电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D59/10 | 分类号： | B01D59/10;C01B4/00 |
| 代理公司： | 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人： | 何自刚 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种洁净高真空工艺氢同位素的纯化器，包括用于纯化氢气/氘气的钯组件，其特征在于，气源将未纯化氢气导入到所述钯组件所在的腔室中，进入所述腔室的氢气一部分经过所述钯组件作为工艺气体使用，一部分排出，以保证进气流量减去排气流量之差等于纯化流量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 真空 工艺 氢同位素 纯化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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