[发明专利]F-P传感器探头、绝对距离测量装置及方法在审
| 申请号： | 202211534663.2 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN115727883A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;龚天诚;赵承伟;王彦钦;贾桂园;褚燕武;王长涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G01B11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖慧 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种F‑P传感器探头、绝对距离测量装置及方法，涉及非接触式绝对距离测量技术领域。该结构包括第一N+1芯多模光纤头(9)、光纤套筒(10)、成像镜组(11)和标准镜(12)，其中：沿F‑P传感器探头向样品(8)的方向，所述光纤套筒(10)内部依次固定有所述第一N+1芯多模光纤头(9)、成像镜组(11)和标准镜(12)；所述第一N+1芯多模光纤头(9)包括N根第一多模光纤(16)和1根第二多模光纤(17)，N≥2，所述N根第一多模光纤(16)围绕所述第二多模光纤(17)排布。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 探头 绝对 距离 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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