[发明专利]一种用于随基片升降的加热装置在审
| 申请号： | 202211560876.2 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115786864A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 骆水连;杨拉毛草;周晖;张腾飞;张延帅;贵宾华;马占吉;鲜昌卫 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于随基片升降的加热装置，包括安装板、固定壳体、基板、反射盘、第一空心轴、第二空心轴、加热盘支撑管组件、加热管、加热盘、加热管固定块、伸缩波纹管；固定壳体的下端外壁设置法兰盘，固定壳体设置在所述安装板上，固定壳体的法兰盘通过螺钉与安装板连接固定，固定壳体的顶部中间位置设置第一安装通孔，第一安装通孔下方正对的安装板上设置第二安装通孔；第一空心轴由同轴设置的上空心轴、下空心轴两段轴组成，上空心轴位于下空心轴上方，上空心轴外壁设置外螺纹一，下空心轴外壁设置外螺纹二，外螺纹一与外螺纹二为旋向相反的螺纹。本发明能准确对基片进行加热，温度可控性好，能够保持加热盘和样品高度保持一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 随基片 升降 加热 装置 | ||
【主权项】：
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