[发明专利]一种隔离层中氟磷元素含量渐变的掺锗芯棒及制备方法在审
| 申请号： | 202211563831.0 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN116119918A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张佳琦;杨鹏;潘蓉;李瑞辰;张慧嘉;王东波;韩志辉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;C03C13/04 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 李美英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种隔离层中氟磷元素含量渐变的掺锗芯棒及制备方法，在芯棒最外层沉积隔离层，由外向内氟元素含量逐渐减少，磷元素含量逐渐增多；制备方法包括以下步骤：将反应沉积管固定在玻璃车床上进行接管、抛光和胀管，然后，进行缩管，套管和退火，应力棒预制棒进行热处理，然后固定在磨床上，剥离掉最外面的石英基底管材料。在沉积隔离层的过程中，每沉积一层，SF |
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| 搜索关键词： | 一种 隔离 层中氟磷 元素 含量 渐变 掺锗芯棒 制备 方法 | ||
【主权项】：
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