[发明专利]一种含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202211569972.3 | 申请日： | 2022-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN115785361A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 康文兵;刘俊俊 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C08G8/30 | 分类号： | C08G8/30;C08G8/28;G03F7/004 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王素平 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料及其制备方法与应用。本发明的含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料，该光刻胶材料是以甲基丙烯酸缩水甘油酯，和二碳酸二叔丁酯通过酚羟基的环氧开环和BOC保护方法对酚醛树脂进行修饰改性得到的。本发明还提供了上述含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料的制备方法。本发明的含丙烯酸酯侧链光刻胶材料显示出优良分辨率，具有良好的耐酸性和涂布均匀性，与硅衬底表面具备良好粘附性，对BOC比例的控制可以调节胶的图案显像程度和膜厚大小，材料在G线和I线领域内产品产业化生产方面具备优异的光化学性能，可广泛用于电路封装、印刷电路和集成电路的制造以及半导体分立器件的微细加工等过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 丙烯酸酯 光刻 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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