[发明专利]一种晶体生长装置及碘化铯晶体生长方法在审

专利信息
申请号: 202211576792.8 申请日: 2022-12-09
公开(公告)号: CN116200823A 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 郑霄;刘伟;陆海松;刘柱;王伟;孙磊 申请(专利权)人: 奕瑞新材料科技(太仓)有限公司
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02;C30B29/12
代理公司: 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 代理人: 张凌宇
地址: 215400 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于单晶生长技术领域,具体涉及一种晶体生长装置及碘化铯晶体生长方法。晶体生长装置具有炉壳,在炉壳内填充有隔热材料,在隔热材料中央形成炉腔;炉腔内具有可视炉管,可视炉管顶部加盖密封件,密封件上具有换气阀用以调节可视炉管内的气氛;在可视炉管外周环绕布置有上部加热器件、下部加热器件;在可视炉管内放置坩埚,在坩埚内布置有生长模具,生长模具内具有竖向贯通的中间缝隙,生长模具上表面具有与中间缝隙连通的V形槽口;籽晶杆滑动密封地穿过密封件,籽晶杆竖向正对生长模具的V形槽口,籽晶杆下端可固定用以引导晶体生长的籽晶。本发明能够在大梯度温度热场内快速结晶,实现碘化铯晶体的快速生长,且晶体质量高。
搜索关键词: 一种 晶体生长 装置 碘化 方法
【主权项】:
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