[发明专利]一种石英谐振梁芯片贴片装置和方法在审

专利信息
申请号: 202211579024.8 申请日: 2022-12-06
公开(公告)号: CN115872353A 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 马东;刘文明;张运权;张鹏斐;曲天良 申请(专利权)人: 华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)
主分类号: B81C3/00 分类号: B81C3/00;G01P15/03;G01P1/00;B81C1/00
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 许美红
地址: 430223 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种石英谐振梁芯片贴片装置,包括粘结配重块、支撑框架,以及安装在支撑框架上的TO底座拾取模块、谐振梁芯片放置模块、视觉对位模块、加热固胶模块,通过吸附带有粘结配重块的TO底座向石英谐振梁芯片粘结的方式,结合透明的芯片放置台上放置透明的石英谐振梁芯片,并用笔式相机从芯片放置台下方观察TO底座和石英谐振梁芯片位置,完成对正粘贴,并利用原位加热固胶方式固化粘贴。本发明大大简化了视觉系统,并用粘结配重块的自重提供精确、恒定的粘贴力,保证粘贴效果并能有效保护石英谐振梁芯片,采用原位加热固胶方式可避免因挪动芯片产生错位,提高了石英谐振梁芯片的可靠性,并降低贴片系统复杂度,降低贴片成本。
搜索关键词: 一种 石英 谐振 芯片 装置 方法
【主权项】:
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