[发明专利]一种电子级氯化氢的纯化和实时检测系统及方法在审
申请号: | 202211587035.0 | 申请日: | 2022-12-11 |
公开(公告)号: | CN116159411A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 曾靖淞;杨着;贺兆波;叶瑞;刘悦;万富强;程正鹏;蔡俊霄 | 申请(专利权)人: | 湖北兴福电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/26 | 分类号: | B01D53/26;C01B7/07;G01N21/25;G01N30/96;B01D53/78;B01D53/81;B01D53/46;B01D53/62 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 黎泽洲 |
地址: | 443007 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明提供一种电子级氯化氢的纯化和实时检测系统及方法,该检测系统包括通过管道依次连接的氯化氢储存装置、干燥纯化器、吸气塔以及检测装置,干燥纯化器中设有吸附剂,检测装置包括气体分析仪和氦离子色谱仪,氯化氢经检测装置检测后汇集至尾气吸收管路。该检测系统及方法可有效去除工业氯化氢中的H |
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搜索关键词: | 一种 电子 氯化氢 纯化 实时 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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