[发明专利]一种利用红外纳秒激光在玻璃表面制造微通道的方法在审

专利信息
申请号: 202211588188.7 申请日: 2022-12-12
公开(公告)号: CN115849724A 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 梁良;卢斌;姜长城;黄华亮;冯万欣 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 宫爱鹏
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种利用红外纳秒激光在玻璃上制造微通道的新工艺方法,包括:步骤1:将靶材放置在水平工作台上,将待加工的透明玻璃片覆盖靶材上方,保证与靶材之间有一定间隙;步骤2:采用合适的激光加工参数照射在靶材上,在玻璃片的下表面制备金属沉积层;步骤3:将玻璃片翻转,带有沉积层的一面朝上,采用合适的激光参数,在玻璃表面的沉积层上烧蚀制备微通道;步骤4:将适量酸液滴在玻璃表面的沉积层上,几分钟后用清水冲洗,然后放在无水乙醇中清洗,并干燥处理。本发明提出的利用红外纳秒激光在玻璃表面制备微通道的新工艺方法,加工效率较高,设备简单,成本低。
搜索关键词: 一种 利用 红外 激光 玻璃 表面 制造 通道 方法
【主权项】:
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